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保障氢化炉加热硅碳棒作为通电加热体
    氢化炉的长期稳定运行是采用热氢化技术进行多晶硅生产的重要保障氢化炉加热硅碳棒作为通电加热体,对四氯化硅转化反应提供反应温度文章通过对其结构、材质进行探讨并加以改进,发现可以达到以下效果:W提高加热硅碳棒的使用寿命;(2>改善接触质量,减少缺相接地故障次数热氢化工艺目的是把还原工序的产物四氯化硅在氢化炉中转化为生产原料二氯氢硅;是实现闭环法生产多晶硅的必要手段。氢化炉的加热硅碳棒作为加热导体,通电后产生热量对转化反应提供必需的温度(1250℃)。原厂家提供的硅碳棒采用螺纹旋进的连接方式,使用一周左右会出现加热硅碳棒断裂引起氢化炉电流缺相,目_此期间硅碳棒表层开裂脱落到氢化炉底盘上产生接地故障,从而造成停炉检修影响正常生产。通过对现有加热硅碳棒的材料成份、电阻值、导热率等指标检测并结合硅碳棒断裂的位置(均出现在上棒与下棒连接处和下棒与石墨夹头连接处)综合分析,我们初步认为在实际工作环境下螺纹连接处局部发热大,而造成硅碳棒熔断或表层开裂;有必要对其结构和材质进行探讨并加以改进;以提高使用寿命,减少断相及接地故障次数。加热硅碳棒结构分析现有加热硅碳棒是由上棒、下棒、横梁、螺纹环、垫圈通过螺丝连接而成,通过顶部横梁搭桥形成电流回路,结构详情如图1所示。图1加热硅碳棒结构导体通过电流产生电阻损耗从而产生发热现象,整体的导体可以用电阻或导电率来反映导电性能,但不连续性的接触导体会产生一个附加的电阻即接触电阻;由于连接表而的不平整性,实际接触只是一定数量的点目比宏观上看到的接触表而要小。不连续性的接触导体会产生附加的接触电阻(R),R比导体自身的电阻(在没有接触而存在时)要大,R与连接的质量有关:R越高,释放的热量越多;如果温度上升到一定的极限,接触而就会损坏。导体电阻关系如下:R:一导体总电;R一导体固有电阻(R=p.L/s);R一接触电阻,R一收缩电阻;Rb一表而膜电阻(表而膜层及污染物构成的电阻;F一加于两导体接触而的压力(N;FIB-材料的布氏硬度:一材料变形系数;n一接触点数目。对于设计好的产品,R是相对固定的;Rb由工作环境及接触的介质决定,影响R」的因素有:接触点数目。压力八材料硬度、材料变形系数等。www.sdzygw.com
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